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六氟化硫是一种窒息剂，在高浓度下会呼吸困难、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。吸入80%六氟化硫+20%的氧气的混合气体几分钟后，人体四肢会出现麻木，甚至窒息死1亡。

电弧作用下六氟化硫气体的分解物如氟化硫，二氟化硫，氟化亚硫酰，二氟化硫酰，四氟亚硫酰等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。氟化硫：常温下为无色气体，有毒，有刺鼻气味，对呼吸系统有类似光1气的破坏作用。

电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。